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到货KOHZU神津精机精密电动线性滑台
产品型号:XA05A-L202
产品简介:

XA05A-L202 为 05A 系列长行程 L 型电动 X 轴滑台,相比短行程 R 系列,移动行程翻倍,兼顾 50mm 大范围移动与亚微米级定位精度;可搭配同规格 YA05A-L202 Y 轴直接堆叠组成长行程 XY 精密平台,适配光纤耦合、大面积样品检测、光谱光路大范围调校、半导体晶圆检测、实验室长行程精密载台等场景。

详细介绍

KOHZU 神津精机电动线性滑台 XA05A-L202 


一、产品概述

XA05A-L202 为 05A 系列长行程 L 型电动 X 轴滑台,相比短行程 R 系列,移动行程翻倍,兼顾 50mm 大范围移动与亚微米级定位精度;可搭配同规格 YA05A-L202 Y 轴直接堆叠组成长行程 XY 精密平台,适配光纤耦合、大面积样品检测、光谱光路大范围调校、半导体晶圆检测、实验室长行程精密载台等场景。


二、主要特点

1.长行程微型机身

50mm 标准小台面,50mm 超长行程,狭小设备内实现大范围样品移动,替代多段滑台组合
2.线性导轨高稳定

专用精密线性导轨,长行程下直线度、刚性表现优异,全程运动无漂移
3.快慢兼顾定位性能

1.0mm 标准导程,*高 5mm/s 移动速度,0.05μm 微步微量微调,大范围移位 + 高精度对位一体
4.标准化堆叠接口

安装基准孔与 YA05A-L202 完全匹配,无需转接板直接组装长行程 XY 双轴平台
5.三重硬件防护

原点自动回零 + 双向硬件限位,超程自动停机,避免丝杆、导轨撞击损坏
6.多工况原厂定制

支持 - C 洁净室低挥发润滑、-V 真空低出气润滑版本,适配无尘产线、真空腔体实验

三、规格概览


  1. 参数项目 技术指标
    完整型号 XA05A-L202
    镜像反向型号 XA05A-L202-R
    台面尺寸 50mm × 50mm
    有效总行程 50mm(±25mm)
    导轨类型 精密线性导轨
    传动丝杠 滚珠丝杠,导程 1.0mm
    标配电机 五相步进电机 PK523HPMB(0.72° 步距角)
    整步 / 半步分辨率 1μm / 0.5μm
    1/20 微步*小分辨率 0.05μm
    *高运行速度 5mm/s
    重复定位精度 ≤±0.5μm
    空程 Lost Motion ≤1μm
    背隙 Backlash ≤0.5μm
    丝杆累积误差 ≤8μm/50mm
    水平直线度 ≤3μm/50mm
    垂直直线度 ≤3μm/50mm
    水平额定承载 49N(5kgf)
    整机自重 0.75kg
    内置传感器 F-116 原点开关 + 前后双向限位
    接线接头 广濑 20 针圆形 RP13A-12JG-20PC
    机身材质 铝合金白色硬质阳极氧化
  2.  


四、标配附

电机本体

原厂洁净润滑脂

固定安装螺丝包

使用说明书


、适配应用行业场景

光学仪器领域 半导体微电子

精密自动化产线 实验室科研设备

配件

工况润滑定制

一体屏蔽线缆

同系列配对Y轴滑台

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