二、主要特点

1.重载兼容 75mm 总行程搭配 75×125mm 宽大载物台，额定承载 20kg，可搭载大尺寸工业镜头、整片 6/8 英寸晶圆、重型检测治具，适配大面积样品连续扫描作业。 2.免转接装配 与 SYA0775-R02 Y 轴外形、安装孔位完全通用，无需定制转接板，上下直叠即可成型完整长行程 XY 平台，大幅缩短设备装配工时。 3.长行程下稳定亚微米定位 即使 75mm 全程移动，重复定位精度仍稳定≤±0.3μm，丝杠累积误差、直线度全维度严苛管控，满足激光对位、半导体探针、高精度尺寸测量需求。 4.设备集成简便 原点、限位传感器出厂预装校准，搭配神津 KOSMOS 系列步进控制器即可快速搭建自动化定位系统，无需额外加装感应配件。 5.经济型量产方案 标准化量产结构，对比XA 系列采购成本更低、交付周期短，适合自动化检测设备批量配套采购。

1. 三、规格概览

2. 分类	详细规格
   工作台面尺寸	75mm×125mm
   有效移动行程	总行程 75mm（±37.5mm）
   丝杠导程	1.0mm
   步进分辨率	整步 1μm / 半步 0.5μm / 1/20 微步细分 0.05μm
   运行速度	步进标准 10mm/s（20kpps 半步驱动）；伺服款*高 40mm/s
   重复定位精度	≤±0.3μm
   丝杠全程累积导程误差	≤20μm/75mm
   空程（Lost motion）	≤1.0μm
   背隙	≤0.2μm
   水平运动直线度	≤2μm/75mm
   垂直运动直线度	≤4μm/75mm
   力矩刚度	0.03 arcsec/N·cm
   水平额定承载	196N（20kgf）
   整机自重	1.1kg
   原厂参考售价	138,000 日元

    

五、适配应用行业场景

光学仪器领域 半导体微电子

精密自动化产线 实验室科研设备