产品主打长行程、大承载、亚微米级定位精度，标准化量产供货周期短，适配大尺寸样品光学检测、晶圆批量测试、重型光路调试等精密自动化场景，整体刚性、精度、负载参数与 SXA0750-R01 保持一致，仅运动轴向与电机安装布局存在区分。

二、主要特点

1.长行程大台面，重载承载能力强

1. 50mm 总行程搭配 75×100mm 宽大载物台，额定可承载 20kg 重物，可搭载大尺寸工业镜头、多片晶圆、重型检测治具，适配大面积样品连续扫描作业。
3. 2.XY 轴标准化配对，装配无需转接板
   与同系列 X 轴 SXA0750-R01 尺寸、安装孔完全匹配，上下直接堆叠即可成型完整 XY 平台，省去定制转接工装，大幅缩短设备装配工时。
4. 3.全维度亚微米精密定位
   重复定位精度稳定控制在 ±0.3μm 以内，直线度、背隙、空程等指标严苛管控，满足金相观测、激光对位、半导体探针等高精密对位需求。
5. 4.一体式集成传感，设备集成便捷
   原点、限位传感器出厂预装并完成校准，搭配神津 KOSMOS 系列步进控制器即可快速搭建自动化定位系统，无需额外加装感应配件。
6. 5.经济型标准化量产，批量配套性价比高
   标准化量产结构，相比XA 系列采购成本更低、交付周期更短，适合自动化检测设备批量配套采购。
7. 三、规格概览

   分类	详细规格
   工作台面尺寸	75mm×100mm
   有效移动行程	总行程 50mm（±25mm）
   丝杠导程	1.0mm
   步进分辨率	整步 1μm / 半步 0.5μm / 1/20 微步细分 0.05μm
   运行速度	步进标准 10mm/s（20kpps 半步驱动）；伺服款*高 40mm/s
   重复定位精度	≤±0.3μm
   丝杠全程累积导程误差	≤12μm/50mm
   空程（Lost motion）	≤1.0μm
   背隙	≤0.2μm
   水平 / 垂直运动直线度	≤1.5μm/50mm
   力矩刚度	0.045 arcsec/N·cm
   水平额定承载	196N（20kgf）
   整机自重	0.78kg

    

五、适配应用行业场景

光学仪器领域 半导体微电子

精密自动化产线 实验室科研设备