INFICON英富丽泄漏检测器 UL1000 UL1000 . 池田屋实业（深圳）有限公司

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INFICON英富丽泄漏检测器 UL1000

INFICON英富丽泄漏检测器 UL1000

产品型号：UL1000 .

产品简介：

INFICON UL1000 Fab 氦气检漏仪是工业或半导体环境中经济型氦气真空泄漏检测的公认标准。通过仪器的干式泵技术，可以消除被测部件或设备被碳氢化合物或颗粒污染的可能性。UL1000 FAB在高性能、超高稳健性和经济性之间提供了佳的性价比。它提供先进的 10-12 mbar·l/s 检测极限，具备合理的短抽气时间和响应时间的特点。紧凑的设计提供了高度的机动性，方便进入空间有限的

详细介绍

优势

通过缩短抽气时间和响应时间加快泄漏检测工作
通过使用可选的背景抑制（Izero），避免需要进行多次泄漏测试。
通过紧凑的设计方便进入空间有限的维护区域
通过耐用的两个热丝离子源（三年保修）和逆流式真空系统实现低拥有成本 (TCO)
通过可旋转显示、声音和灯光泄漏提示以及可选的远程控制降低应用难度
通过内置泄漏测试和自动校准程序实现低成本维护

典型应用

对清洁度要求严苛的工业真空设备制造
在将真空组件或子组件安装到现有工具中之前
真空工具的维护工作，无论是否有泵的支持
工艺气体系统的检查和安装
半导体、平板显示器或太阳能电池制造

规格

UL1000

UL1000 Fab

氦气*小泄漏检测率（真空法）	mbar•L/s	< 5·10-12
氦气*小检测泄漏率（嗅探模式）	mbar•L/s	< 5·10-8
*大。入口压力 GROSS 模式	mbar	15
*大入口压力 FINE（精细）模式	mbar	2
*大入口压力 ULTRA 模式	mbar	0.4
前置真空泵类型		油封
排空时的泵速	m³/h	16 at 50 Hz
氦气抽速 ULTRA 模式	L/s	2.5
可检测到的质量		2,3,4 amu
质谱仪扇形领域		180°
灯丝离子束铱/钇涂层		2
经校准的内置泄漏测试	mbar•L/s	E-7
测试端口		DN 25 KF
可调节触发器		2
界面		RS232
图表记录器输出	V	2x10
输入/输出		与 PLC 兼容
允许环境温度（运行期间）	°C	+10.....+40
重量	kg lb	110 242
尺寸（长 x 宽 x 高）	mm in	1068 x 525 x 850 42 x 21 x 33
电源电压	V (AC) V (AC) V (AC)	230 (±10%) 50Hz 115 (±10%) 60Hz 100 (±10%) 50/60Hz
耗电量	VA	1100

规格

UL1000

UL1000 Fab

氦气*小检测泄漏率（真空模式）	mbar•L/s	< 5·10-12
氦气*小检测泄漏率（嗅探模式）	mbar•L/s	< 5·10-8
*大。入口压力 GROSS 模式	mbar	15
*大入口压力 FINE（精细）模式	mbar	2
*大入口压力 ULTRA 模式	mbar	0.4
前置真空泵类型		干式压缩
排空时的泵速	m³/h	25 at 50 Hz
氦气抽速 ULTRA 模式	L/s	2.5
可检测到的质量		2,3,4 amu
质谱仪扇形领域		180°
铱/钇涂层灯丝离子源		2
校准内置泄漏	mbar•L/s	∼ 10-7
测试端口		DN 25 KF/(DN 40 KF)
可调节触发器		2
界面		RS 232
图表记录器输出	V	2 x10
输入/输出		与 PLC 兼容
允许环境温度（运行期间）	°C	+10 to +40
重量	kg lb	110 242
尺寸（长 x 宽 x 高）	mm in.	1050 x 472 x 987 41 x 19 x 39
尺寸（长 x 宽 x 高）	V (AC)	230 (± 10 %) 50 Hz
电源电压 (US)	V (AC)	100/115 V (± 10 %) 50/60 Hz
功耗（典型值）	VA	1100
耗电量（*大值）	VA	1100