优势

• 采用I-CAL软件算法，在10-9至10-12mbar-l/s范围内快速测量，节省时间
• 使用I-ZERO 2.0进行*有效的检漏，其改进的智能功能可在保持高测量灵敏度的同时进行快速背景抑制
• 适用于真空和嗅探检漏
• 通过快速排空和响应时间，*大限度地减少检漏工作
• 纤细的设计，易于操作，节省时间
• 坚固的离子源（3年保修）和逆流真空系统使总拥有成本（TCO）较低 
  逆流式真空系统
• 易于使用，由操作员指导的人机界面，带有全彩高分辨率可旋转显示器
  UL3000 Fab ULTRA：由于HYDRO-S软件消除了水蒸气背景，使其有可能迅速达到敏感的测量范围，从而更早开始检漏。
• UL3000 Fab ULTRA: 由于更高的空气泵送速度，更快的泵降（排空）时间 
  根部泵的速度更快
• UL3000 Fab ULTRA: 由于根部泵的低维护率，总拥有成本（TCO）更低。粗加工泵。
• UL3000 Fab ULTRA：通过使用久经考验的吸污管线SL3000，该检漏仪还提供了改进的吸污能力，其长度可达10米。SL3000有一个单独的连接端口，因此不需要连接到真空入口。

典型应用

• 半导体工厂
• 平板显示器制造
• 太阳能电池的制造
• 玻璃和卷材（卷对卷）镀膜
• 一般真空镀膜和应用

规格

UL3000 Fab

UL3000 Fab ULTRA

粗加工泵的*大泵送速度	m³/h	>30
氦气抽吸速度（高敏感模式ULTRA）。	L/s	4
尺寸（长x宽x高）	mm in.	1050x472x987 42x21x34

规格

UL3000 Fab

UL3000 Fab ULTRA

粗加工泵的*大泵送速度	m³/h	>36
氦气抽吸速度（高敏感模式ULTRA）。	L/s	4
尺寸（长x宽x高）	mm in.	1050x472x987 42x21x34
附加功能	具有*高抽气速度的罗茨干泵，HYDRO-S，用于SL3000的独立吸气管口，真空软管支架

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