特点

• 氩气的操作范围为1 Torr - 450 Torr，氮气的操作范围为1 Torr - 120 Torr（其他气体种类则有所不同）
• 低检测限<1 ppm
• 使用标准KF25连接，安装方便
• 快速采样（*大20赫兹）
• 占地面积小（高x宽x长）：6.4 x 6.0 x 8.3 in. [162 x 153 x 210 mm］
• 低维护，不需要泵或消耗品
• 方便的现场可更换的等离子池
• 为您的特殊工艺需求提供全球专家支持

规格

操作压力	1 Torr - 450 Torr (取决于应用)
光谱仪性能	200至850纳米波长（紫外-可见光） 16位全尺度分辨率，3648像素
检测极限	< 1 ppm (取决于应用)
曝光时间	*少1毫秒
真空配件	KF25