池田屋INFICON英富丽质谱仪Transpector® MPH Transpector® MPH. 池田屋实业（深圳）有限公司

捕捉变化，开拓未来
通过科学技术的发展和未来的人才培养为社会做贡献

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主营产品：实验室仪器；测量仪器；环境检测仪器；计量器具；传感器の专门商社池田屋！

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池田屋INFICON英富丽质谱仪Transpector® MPH

池田屋INFICON英富丽质谱仪Transpector® MPH

产品型号：Transpector® MPH.

产品简介：

持续上升的硅晶圆价格以及对成品的需求意味着废弃晶圆需要付出**的代价。因此，在半导体制造中心了解过程并监测缺陷也变得更加重要。Transpector MPH 气体分析系统专门用于让您的系统在所有气体分析应用中都实现业内的性能，有助于*大限度地提高芯片产量，降低工具停工时间。Transpector MPH 兼具总拥有成本低和平均故障间隔时间长的优点，在帮助您赢利方面的作用优于市面上的任何其他

详细介绍

功能

*大模拟扫描和选定峰值的数据速率为每点 1.8 ms
TCP/IP 以太网连接
双丝极
可现场更换电子倍增器
组合阳极、阴极和反射极丝极套件
较短的传感器可降低安装占地面积
九个数量级的动态量程
<2E-15 Torr 的 MDPP（100 amu）
信噪比更高
可调换传感器和电子元件
传感器在洁净室环境中装配、测试并进行双层包装
符合 RoHS 标准

技术规格

MPH100M

MPH100F

MPH200M

MPH200F

MPH300M

MPH300F

质量范围	100 amu

*小可检测分压	2E-15 Torr

灵敏度 (FC)	6E-4 A/Torr

灵敏度 (EM)	500 A/Torr

*大工作压力	5E-4 Torr