池田屋INFICON英富丽质谱仪Transpector® CPX Transpector® CPX. 池田屋实业（深圳）有限公司

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主营产品：实验室仪器；测量仪器；环境检测仪器；计量器具；传感器の专门商社池田屋！

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池田屋INFICON英富丽质谱仪Transpector® CPX

池田屋INFICON英富丽质谱仪Transpector® CPX

产品型号：Transpector® CPX.

产品简介：

INFICON Transpector CPX 是一款市场**的残余气体分析仪（RGA），用于半导体制造中的先进过程监控。INFICON 深知半导体制造过程有特定需求，需要灵活性以满足应用要求。Transpector CPX 设计时充分考虑了这一多样性，配备了多压力 HexBlock 入口和多种功能选项，以满足应用需求。新一代 Transpector CPX 相较于前代产品*体积减少了 3

详细介绍

优势

可配置的 HexBlock，多支持三个压力入口，适用于多种应用

与 Transpector CPM 3 相比，系统体积减少 30%，便于在空间受限的应用中进行 RGA 集成

通过行业的抽气系统和温控加热组件简化系统复杂度

自动校准确保长期数据可靠性和准确性，实现传感器到传感器、工具到工具的腔室匹配

当与 FabGuard 软件集成并由 INFICON 应用专家支持时，Transpector CPX 成为强大的过程监控和诊断工具

规格

100 AMU

200 AMU

300 AMU

检测极限 < 200 ppb

过程压力范围 1E-8 Torr to 1.2 ATM

灵敏度（低发射） > 4E-6 Amps/Torr

灵敏度 (高发射) > 2E-5 Amps/Torr