优势

• 从高真空到 PVD 流程压强条件下，能够高灵敏度地检测空气泄漏和污染，实时保护晶圆和面板
• *大化 PM 效率和工具正常使用时间，具有快速可靠的腔室条件
• 通过延长使用寿命、防污染、双离子源设计*小化总体拥有成本；无需泵，即可监测高达 20 mTorr 的压强。低压 EM 变体可提供成本敏感的替代选择
• 通过强大数据采集与同步实现无缝工厂集成和可靠阻断
• 通过定制配方优化增强独特生产能力
• 通过即时现场专家响应保护关键过程需求

典型应用

• PVD 和溅射过程模块
• 预清洗模块
• 非群集 PVD 工具
• 夹钳式除气模块

技术规格

质量位置稳定性	<0.1 amu over 24 hours
灵敏度（FC 模式）	≥4E-7 amps/Torr (3E-7 amps/mbar)
灵敏度（标称）	≥8E-3 amps/Torr (3E-3 amps/mbar)
*小可检测分压（FC 模式）	≤1E-9 Torr (1.3E-9 mbar)
*小可检测分压（EM 模式）	≤6E-12 Torr (8E-12 mbar)
*大工作压力（FC 或 EM 模式）	20 mTorr (2.6E-2 mbar)
*大工作压力（线性操作）	10 mTorr (1.3E-2 mbar)