可衡量的成果

通过在关键位置为工程师提供所需的可视化数据，彻底改变工厂的核心流程。Transpector APX多压力分析仪不仅是气体分析仪，更是通往**工艺的智能制造门户。

• 通过在每个阶段捕捉化学信号，*大限度减少废品和计划外设备停机时间。
• 借助跨设备一致的传感器数据和校准，实现更快的工艺爬坡和配方转移。
• 通过主动监测化学与压力参数，有效抑制工艺漂移并降低维护成本。
• 提升全厂数据利用率，为分析系统、故障诊断系统及预测性维护平台提供数据支持。

优势

• **工艺监测：每秒采集超过550个数据点，实时洞察沉积与刻蚀阶段
• 耐强腐蚀化学环境：HexBlock™多入口系统搭载专有涂层，可监测腐蚀性及高颗粒浓度环境
• 空间高效布局：高性能抽气系统使占地面积缩减30%，轻松适配紧凑型工厂布局
• 无缝设备匹配与分析：通过FabGuard®实现自动校准与工厂分析系统直接集成，确保腔室行为一致性及跨设备数据可靠性
• 智能工厂可扩展集成：支持多层级监测、诊断及数字孪生就绪功能，契合工业4.0与智能制造战略

规格

100 AMU

200 AMU

300 AMU

总压力范围	5E-7 to 1E-3 Torr (6.6E-7 to 1.3E-3 mbar)
检测限	<10 ppb
工艺压力范围	1E-8 Torr to 1.2 atm (1.3E-8 mbar to 1.2 atm)
灵敏度（低发射）	>4.0E-6 A/Torr (>3E-6 A/mbar)
灵敏度（高发射）	>2.0E-5 A/Torr (>1.5E-5 A/mbar)