池田屋INFICON英富丽 气体分析仪Quantus® LP100+
产品型号：Quantus® LP100+.
产品简介：Quantus LP100+ 以自等离子体光学发射光谱 (SPOES) 技术为基础，检测限低至 ppm 以下，安装位置灵活，可安装在腔室或泵管线上。
Quantus LP100+ 采用独特的传感器设计，与传统的 OES 产品相比具有无可比拟的优势。该传感器可在等离子池中产生局部等离子体，从而将基于 OES 的气体分析仪的功能从等离子室安装扩展到非等离子室和其他工具位置，如前线或排气管路。Quan