池田屋EBARA荏原机械燃烧式废气处理 G6-E 池田屋实业（深圳）有限公司

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池田屋EBARA荏原机械燃烧式废气处理

池田屋EBARA荏原机械燃烧式废气处理

产品型号： G6-E

产品简介：

G6-E型是一款燃烧式废气处理系统，适用于处理半导体制造过程中外延生长设备产生的含有大量氢气和氯气的废气。其紧凑的设计使其氢气处理量*高可达200升/分钟，并可同时处理氢气和氯气。该系统标配副产物去除功能，可降低维护成本和负担。

详细介绍

规格


模型		单元	G6-E A1~A4	G6-E P1~P4
加工方法			燃烧型+湿式	燃烧型+湿式
*大允许流入气体量		升/分钟	400	400
燃料			城市燃气	丙烷
尺寸		宽 x 深 x 高毫米	1200×650×1900毫米	1200×650×1900毫米
*大氢气处理流量		升/分钟	200	200
可处理的气体示例			工艺（沉积）气体：H2、PH3、Si3H8、SiH4、PH3、GeH4、AsH3、NH3、SiH2Cl2、B2H6 等。通用清洗气体： NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等。通用蚀刻气体：HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6 等。	工艺（沉积）气体：H2、PH3、Si3H8、SiH4、PH3、GeH4、AsH3、NH3、SiH2Cl2、B2H6 等。通用清洗气体： NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等。通用蚀刻气体：HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6 等。
标准配置			用于**高流量氢气处理燃烧器中粉末的燃烧器刮刀	用于**高流量氢气处理燃烧器中粉末的燃烧器刮刀
选项			城市水和废水减量装置风机洗涤器，用于减少粉末排放	城市水和废水减量装置风机洗涤器，用于减少粉末排放