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池田屋EBARA荏原机械 燃烧式废气处理
产品型号：TND-Single P1~P4
产品简介：

TND型废气处理装置是一种燃烧式废气处理设备，采用独特的燃烧方式，可实现低氮氧化物（NOx）和低一氧化碳（CO）排放。该装置采取了多种防腐蚀和副产物处理措施，使其维护周期比传统产品延长三倍以上，同时运行成本低、能耗低，具有经济高效的应用前景。产品系列包括配备燃烧装置和水洗涤器的TND-Single型，以及配备预清洗装置、燃烧装置和水洗涤器的TND-Single Plus型。即使在副产物产生量大的工

详细介绍


规格

模型 单元 TND-单张A1-A4/ TND-单张P1~P4 TND-Single Plus-A1~A4/P1~P4
加工方法 燃烧型+湿式 湿 + 燃烧 + 湿
*大允许流入气体量 升/分钟 200（每个端口）
400（每个设备） 		200（每个端口）
400（每个设备）
燃料 城市燃气/丙烷燃气选择 城市燃气/丙烷燃气选择
尺寸 宽 x 深 x 高 毫米 1200 x 650 x 1980 1200 x 650 x 1980
可处理的气体示例 工艺（沉积）气体：
SiH4、PH3、GeH4、AsH3、NH3、SiH2Cl2、B2H6、H2、PH3、Si3H8 等。
通用清洗气体：
NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等。
通用蚀刻气体
：HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6 等。 		工艺（沉积）气体
：WF6、TiCl4、SiH4、PH3、GeH4、NH3、SiH2Cl2、TEOS、B2H6、H2 等。
通用清洗气体：
NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等。
通用蚀刻气体
：HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6 等。
全氟化合物
：CF4、C2F6、C3F8、CHF3、SF6 等。
标准配置 水洗装置用于**粉末；
燃烧器刮刀用于**粉末 		预处理粉末收集机构；
燃烧器刮刀，用于**粉末
选项 城市水和废水减量装置
风机洗涤器，用于减少粉末排放 		城市水和废水减量装置
风机洗涤器，用于减少粉末排放



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