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EBARA荏原机械 干式废气处理器
产品型号：GTC-6-0
产品简介：

GT型是一种干式废气处理装置，能够高效处理低于阈限值（TLV）的废气。根据处理目标，可以选择合适的吸附剂，使其适用于多种应用。该装置可选择性地处理砷、磷等有害物质，无需燃料或废水处理，因此非常适合没有燃料管线或废水处理设施的实验室使用。它节能高效。

详细介绍


规格

模型 单元 GTE-3-0 GTE-0-2 GTC-1-0 GTC-2-0 GTC-6-0 GTC-0-1
加工方法 干法 干法 干法 干法 干法 干法
*大允许流入气体量 升/分钟 100 80 100 100 100 100
尺寸单 宽 x 深 x 高 毫米 600x600x2000 900x600x2000 600x600x2000 600x600x2000 600x600x2000 600x600x2000
维度双 宽 x 深 x 高 毫米 900x600x2000 - 900x600x2000 900x600x2000 900x600x2000 900x600x2000
可处理的气体示例 HBr、Cl2、BCl3、F2、SiF4、HF、COF2、C5F8、C4F6 等。 NF3、N2O、NO、NO2、SiF4、HF、F2 等 SiH4、PH3、AsH3、TMS 等。 NH3、SiH2Cl2、SiCl4 等。 TEOS、TMB、TME、O3 等。 ClF3、HF、F2、HCl 等。



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