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主营产品:
实验室仪器;测量仪器;环境检测仪器;计量器具;传感器の专门商社池田屋!
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EBARA荏原机械
池田屋EBARA荏原机械 干式废气处理器
产品型号:GTE-0-2
产品简介:
GT型是一种干式废气处理装置,能够高效处理低于阈限值(TLV)的废气。根据处理目标,可以选择合适的吸附剂,使其适用于多种应用。该装置可选择性地处理砷、磷等有害物质,无需燃料或废水处理,因此非常适合没有燃料管线或废水处理设施的实验室使用。它节能高效。
详细介绍
规格
模型
单元
GTE-3-0
GTE-0-2
GTC-1-0
GTC-2-0
GTC-6-0
GTC-0-1
加工方法
干法
干法
干法
干法
干法
干法
*大允许流入气体量
升/分钟
100
80
100
100
100
100
尺寸单
宽 x 深 x 高 毫米
600x600x2000
900x600x2000
600x600x2000
600x600x2000
600x600x2000
600x600x2000
维度双
宽 x 深 x 高 毫米
900x600x2000
-
900x600x2000
900x600x2000
900x600x2000
900x600x2000
可处理的气体示例
HBr、Cl2、BCl3、F2、SiF4、HF、COF2、C5F8、C4F6 等。
NF3、N2O、NO、NO2、SiF4、HF、F2 等
SiH4、PH3、AsH3、TMS 等。
NH3、SiH2Cl2、SiCl4 等。
TEOS、TMB、TME、O3 等。
ClF3、HF、F2、HCl 等。