EBARA荏原机械干式废气处理器 FDS100S 池田屋实业（深圳）有限公司

捕捉变化，开拓未来
通过科学技术的发展和未来的人才培养为社会做贡献

13889915966

主营产品：实验室仪器；测量仪器；环境检测仪器；计量器具；传感器の专门商社池田屋！

您的位置：首页 > 产品与服务 > EBARA荏原机械

EBARA荏原机械干式废气处理器

EBARA荏原机械干式废气处理器

产品型号：FDS100S

产品简介：

FDS 型号是一种干式废气处理系统，无需废水处理即可**高效地处理全氟化合物 (PFCs) 气体。该系统可高效处理 99.9% 以上的 PFCs 气体，并在分解后对氟基气体进行干式固定，从而避免了废水处理和有毒废水处理。其 PFCs 去除率超过 99%，*大进气流量为 250 L/min（250 L/min 双缸型号）。双缸型号采用反应器串联流设计，显著提高了系统运行时间；而单缸型号则可轻松替换现

详细介绍

规格


模型		单元	FDS100S	FDS250
加工方法			干式	干式
反应堆数量			1	2
反应堆更换检测			标准配置：称重传感器；可选配置：PFC检测器	标准：PFC检测器
*大允许流入气体量		升/分钟	100升/分钟	250升/分钟
尺寸		宽 x 深 x 高毫米	600×600×2000	1,520×1,000×2,250
****寿命		L/本	CF4：3,000	CF4：10,000
可处理的气体示例			CF4、C2F6、C3F6、CHF3、SF6、C5F8、C4F6、NF3 等。	CF4、C2F6、C3F6、CHF3、SF6、C5F8、C4F6、NF3 等。