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EBARA荏原机械
EBARA荏原机械 干式废气处理器
产品型号：FDS100S
产品简介：
FDS 型号是一种干式废气处理系统，无需废水处理即可**高效地处理全氟化合物 (PFCs) 气体。该系统可高效处理 99.9% 以上的 PFCs 气体，并在分解后对氟基气体进行干式固定，从而避免了废水处理和有毒废水处理。其 PFCs 去除率超过 99%，*大进气流量为 250 L/min（250 L/min 双缸型号）。双缸型号采用反应器串联流设计，显著提高了系统运行时间；而单缸型号则可轻松替换现
详细介绍
规格
模型
单元
FDS100S
FDS250
加工方法
干式
干式
反应堆数量
1
2
反应堆更换检测
标准配置：称重传感器；
可选配置：PFC检测器
标准：PFC检测器
*大允许流入气体量
升/分钟
100升/分钟
250升/分钟
尺寸
宽 x 深 x 高 毫米
600×600×2000
1,520×1,000×2,250
****寿命
L/本
CF4：3,000
CF4：10,000
可处理的气体示例
CF4、C2F6、C3F6、CHF3、SF6、C5F8、C4F6、NF3 等。
CF4、C2F6、C3F6、CHF3、SF6、C5F8、C4F6、NF3 等。