池田屋EBARA荏原机械节能干式真空泵 ESR30N 池田屋实业（深圳）有限公司

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池田屋EBARA荏原机械节能干式真空泵

池田屋EBARA荏原机械节能干式真空泵

产品型号：ESR30N

产品简介：

独特的转子设计和空转功能实现了节能和紧凑的尺寸，从而降低了运行成本。此外，还提供耐腐蚀材料选项，使其适用于从轻负载应用（例如负载锁和扫描电镜）到腐蚀性工艺等各种应用。

详细介绍

规格


模型		单元	ESR20N	ESR30	ESR30N	ESR500W(N)
冷却水	流量	升/分钟	2~8	3.5~8	3.5~8	3.5~8
冷却水	温度	℃	*多 30	*多 30	*多 30	*多 30
电源	电源容量	千伏安	4	7	7	12.3
泵送速度		升/分钟	1300~2000	3000	3000	46000
到达圧力		出色地	2	0.53	0.67	0.2
连接直径	进气口		西北40	NW50	NW50	ISO160
连接直径	排气口		西北40	西北40	西北40	西北40
极限压力下的近似功率值		千瓦	0.7	1.7	1.7	3.1
**名	流量	帕·米³/秒	19~22 (0)	19~22 (3.4)	19~22 (3.4)	19~22 (3.4)
电源相数/电压/频率	200V 型号		3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz	3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz	3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz	3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz
电源相数/电压/频率	400V 型号		3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz	3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz	3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz	3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz
概略质量		公斤	90	190	190	500