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主营产品:
实验室仪器;测量仪器;环境检测仪器;计量器具;传感器の专门商社池田屋!
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EBARA荏原机械
日本原装EBARA荏原机械 干式真空泵
产品型号:EV-M302N
产品简介:
荏原独特的高温技术使其能够处理半导体、液晶显示器和太阳能电池制造过程中产生反应副产物的高负荷工艺。其**的节能性能使其能够在处理高负荷工艺的同时节省能源。标配耐腐蚀材料,并提供排量高达110,000升/分钟的大排量机型。凭借丰富的产品线,可满足各种工艺条件,从而应对广泛的高负荷工艺。
详细介绍
规格
模型
单元
EV-M20N
EV-M102N
EV-M202N
EV-M302N
EV-M502N
EV-M505SF
EV-M802N
EV-M805SF
EV-M1205SF
冷却水
流量
升/分钟
3~8
3~8
3.5~8
4~8
5~8
5~8
5~8
5~8
5~8
温度
℃
*多 30
*多 30
*多 30
*多 30
*多 30
*多 30
*多 30
*多 30
*多 30
电源
电源容量
千伏安
3.3
5.4
6
6.8
7.1
15.7
8.3
19.4
14.2
泵送速度
升/分钟
1800
10000
20000
30000
50000
50000
80000
80000
110000
到达圧力
出色地
5
0.5
0.5
0.5
0.5
0.5
0.5
0.5
0.5
连接直径
进气口
西北40
ISO100
ISO100
ISO100
ISO160
ISO160
ISO200
ISO200
ISO200
排气口
西北40
西北40
西北40
西北40
西北40
西北40
西北40
西北40
西北40
极限压力下的近似功率值
千瓦
1.2
1.8
1.9
2.3
2.1
3.9
2.8
4.6
5.3
**名
流量
帕·米³/秒
26~31
26~31
26~31
26~31
28~33
228
28~33
228
34~35
电源相数/电压/频率
200V 型号
3相/200V/50Hz
3相/200-220V/60Hz
3相/200V/50Hz
3相/200-220V/60Hz
3相/200V/50Hz
3相/200-220V/60Hz
3相/200V/50Hz
3相/200-220V/60Hz
3相/200V/50Hz
3相/200-220V/60Hz
3相/200V/50Hz
3相/200-220V/60Hz
3相/200V/50Hz
3相/200-220V/60Hz
3相/200V/50Hz
3相/200-220V/60Hz
3相/200V/50Hz
3相/200-220V/60Hz
400V 型号
3相/380-400V/50Hz
3相/380-440V/60Hz
3相/380-400V/50Hz
3相/380-440V/60Hz
3相/380-400V/50Hz
3相/380-440V/60Hz
3相/380-400V/50Hz
3相/380-440V/60Hz
3相/380-400V/50Hz
3相/380-440V/60Hz
-
3相/380-400V/50Hz
3相/380-440V/60Hz
3相/380-400V/50Hz
3相/380-440V/60Hz
3相/380-400V/50Hz
3相/380-440V/60Hz
概略质量
公斤
170
320
360
400
500
580
740
820
870