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日本原装EBARA荏原机械 电解电镀机
产品型号:UFP600AS
产品简介:

UFP600AS 是一款可安装在洁净室中的电解电镀系统,可在方形基板上形成凸点、重布线和通孔等精细图案。作为一款用于封装的方形基板电解电镀系统,它凭借高速桨式电镀法和在半导体晶圆设备领域积累的丰富工艺经验,实现了高速电镀和高面内均匀性。其灵活的配置允许在单个单元内完成凸点、柱状结构、重布线、通孔和扇出等多种工艺处理,并正日益广泛应用于先进的面板级封装领域。

详细介绍

UFP600AS

能够同时实现高产量、高速电镀和优异的平面均匀性的电镀设备

  • 高通量
  • 优异的平面均匀性
  • 支持在多种基材和薄籽晶层上进行电镀。
  • 适用于多种用途
  • 灵活的平台配置


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