池田屋原装EBARA荏原机械机械抛光机 F-REX 池田屋实业（深圳）有限公司

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池田屋原装EBARA荏原机械机械抛光机

池田屋原装EBARA荏原机械机械抛光机

产品型号：F-REX

产品简介：

F-REX 型 CMP 系统是一款洁净室安装式 CMP 系统，可对晶圆表面进行化学和机械抛光。该系统拥有经市场验证的高可靠性和的工艺性能，并可灵活配置多种系统以满足您的特定需求。它采用双模块系统，有效避免了工艺腔室之间的交叉污染。即使一个模块停止运行，系统也能自动切换到另一个模块，无需在维护或故障期间关闭系统，从而实现高生产率。双模块系统还支持单台设备进行多种工艺处理。该系统配置可满足大规

详细介绍

具有高利用率和高吞吐量，可实现高生产率的CMP设备

干式进出
**的流程性能
高通量
高运行率
多阶段化学清洗
抛光终点检测监视器（可选）
在线薄膜厚度测量仪（可选）
功能多样，设备配置灵活
符合SEMI-S2/CE标志要求