日本现货EBARA荏原机械 机械抛光机
产品型号：F-REX
产品简介：F-REX 型 CMP 系统是一款洁净室安装式 CMP 系统，可对晶圆表面进行化学和机械抛光。该系统拥有经市场验证的高可靠性和**的工艺性能，并可灵活配置多种系统以满足您的特定需求。它采用双模块系统，有效避免了工艺腔室之间的交叉污染。即使一个模块停止运行，系统也能自动切换到另一个模块，无需在维护或故障期间关闭系统，从而实现高生产率。双模块系统还支持单台设备进行多种工艺处理。该系统配置可**满足大规模生产和实验开发应用的需求。