产品名称	设备功能	规格
NGR5500	NGR5500采用可变电压电子束，可在宽视场范围内采集图像，从而实现多点测量数据和广域图案检测与测量。 高加速电子束照射到半导体晶圆上的图案上，通过二次电子信号和反射电子信号生成图像，用于后续的检测和测量。对于高纵横比图案，可以测量图案形状，包括尺寸和倾斜度。此外，对于多层图案，还可以进行层间图案的套刻测量。	晶圆尺寸：Φ300mm（SEMI标准V型槽晶圆）
NGR5300	NGR5300 是一款应用于**半导体器件的电子束晶圆图案验证系统。它配备了独特的电子束光学系统，能够采集宽场图像，并采用 D2DB（芯片到数据库）算法对晶圆上的图案进行检测和测量。NGR5300 是 NGR3500 系列的升级产品，在 XY 平台、电子束光学系统、平台和图像处理系统方面均采用了*新技术，实现了高吞吐量和高精度的检测和测量。	晶圆尺寸：Φ300mm（SEMI标准V型槽晶圆）
NDAS （NGR数据分析系统）	NDAS 是一款配备独特统计分析算法的数据分析系统。 它采集 NGR5000 系列输出的大量数据（数百万至数千万个数据点），并对这些数据进行统计分析，以可视化有助于提高半导体器件制造良率的数据。	*多可有 5 个用户同时访问一台 NDAS 服务器。

应用 示例	热点提取/监控 工艺窗口评估 OPC优化 CD均匀性测量 CD分布分析 芯片内套刻测量 EPE测量