日本原装TORAY东丽荧光检测系统 INSPECTRA® PL 池田屋实业（深圳）有限公司

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主营产品：实验室仪器；测量仪器；环境检测仪器；计量器具；传感器の专门商社池田屋！

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日本原装TORAY东丽荧光检测系统

日本原装TORAY东丽荧光检测系统

产品型号：INSPECTRA® PL

产品简介：

利用 PL（光致发光）技术，可以自动检测出可见光外观检测无法发现的晶体缺陷、裂纹和发光缺陷。

详细介绍

功能>

我们独特的光学系统和检测算法能够高速、高灵敏度地检测和分类晶体缺陷。
可以检测晶圆上所有芯片的亮度变化和波长变化。
通过将其作为晶圆视觉检测系统的选件进行安装，可以实现从原型到批量生产的一致性检测，不仅包括EPI工艺中的晶体缺陷检测，还包括图形化工艺中的视觉检测。
将可见光检测与PL检测相结合，可以识别致命缺陷，从而提

目标样本	LED晶圆、芯片和基板
像素分辨率	0.325微米～
检查速度	10 分钟（4 英寸晶圆，10 倍放大，PL 检测）
支持的样本量	2英寸转G2.5
检查项目	PL检验/可见光外观检验
目标缺陷	亮度差、亮度波长偏差、晶体缺陷、裂纹、图案外观差等。
选项	波长估算、长度测量功能（芯片倾斜、未对准、无芯片）