日本原装TORAY东丽晶体显示系统 INSPECTRA® SR-III 池田屋实业（深圳）有限公司

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主营产品：实验室仪器；测量仪器；环境检测仪器；计量器具；传感器の专门商社池田屋！

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日本原装TORAY东丽晶体显示系统

产品型号：INSPECTRA® SR-III

产品简介：

业界速度*快：从半导体制造的预处理到后处理，我们满足高速、高规格、全批量自动化晶圆检测的需求。INSPECTRA® 系列晶圆检测系统可实现高速、高灵敏度的全批量检测。我们独有的“良品学习算法（DSI 对比法）”能够吸收工艺变量，抑制误检缺陷的出现，并仅检测目标缺陷。

详细介绍

系列	设备特性	工作规模
SR-IV系列	高倍率检测的检测速度约为上一代产品“INSPECTRA SR-III”的两倍。这既实现了符合市场需求的高精度检测，又实现了高速100%检测。	2到12英寸
SR-III系列	这是SR系列的升级版。通过对生产过程进行100%全检，并达到所需的灵敏度，可以及早发现缺陷并防止其流入市场。	2到12英寸

系列	设备特性	胶带框架尺寸
FR-Ⅲ系列	适用于切割和扩孔后的检查。自动胶带框架处理。	～400毫米

便捷的标准功能	灵敏度模拟、PAD 检测、缺陷彩像存储、无图案检测、单元间检测、芯片间检测、自动缺陷分类、全图像存储、主动自动对焦、离子发生器、配方共享、照明校准、芯片旋转、位置偏差校正（FR 系列）等。
多种选择	差分干涉光学、斜照明、晶圆背面和边缘检测、结果分析功能、晶圆清洗、长度测量功能、颜色检测、AI-ADC 功能（AI 缺陷分类功能）、各种晶圆传输支持（减薄/翘曲/衬底）、各种通信支持、各种数据输出支持等。
成就示例	各种大规模集成电路（LSI）、集成电路集成系统（CIS）、微机电系统（MEMS）、发光二极管（LED）、凸点/通孔/过孔检测、功率半导体、碳化硅（SiC）、氮化镓（GaN）、化合物半导体