标准规格

泵速（20℃）	氮	升/秒	1700
	氢		2,700
	氩气		1400
	水		4,000
极限压力	帕（托）		10 -7 (10 -9 )
*大流量	氩气	帕·升/秒 (托·升/秒)	1.2× 10³ (8.9)
排气容量	氩气	Pa・L (Torr・L)	1.0×10⁸ （ 7.6× 10⁵）
	氢		1.0×10⁶ ( 7.6× 10³ )
冷却时间 （电源循环）	*小值（赫兹）		100/90(50/60)
进气法兰			UVG-200、6 B ANSI、UFC-253
压缩机组			C10T，C10AT
大量的		公斤	20.8

*维护周期：16,000 小时