在四种类型的低温泵中，它的抽气性能佳。高泵速有助于提高泵送效率和生产率。它特别适用于半导体制造设备和小型设备的溅射工艺。一台压缩机多可以驱动四台泵。我们可以根据您的需求进行设计和制造。

详细介绍

规格

泵速（20℃）氮升/秒 450

氢 500

氩气 370

水 1,100

极限压力宾夕法尼亚州 10-7

*大流量氩气帕·升/秒 1.3× ^10³

排气容量氩气朋友。 1.0× ¹⁰⁷

氢 1.5× ¹⁰⁵

冷却时间 min(50/60Hz) 45/50

大量的公斤 14.5