ULVAC爱发科残余气体分析仪 HGM2-302 池田屋实业（深圳）有限公司

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ULVAC爱发科残余气体分析仪

产品型号：HGM2-302

产品简介：

ULVAC全新推出的残余气体分析仪/过程气体监测仪（RGA）在高压（1 Pa或更低）下实现了高精度和高分辨率，同时兼具简易性和易用性。众多生产线上的设备工程师一致认为，这标志着过程监测仪树立了新的标杆。该仪器是溅射设备过程管理（提升质量和产量）的理想之选。

详细介绍

模型	HGM2-202		HGM2-302
质量分离方法	四极杆质谱仪
质量范围	1 至 200 amu		1 至 300 amu
解决	M/ΔM=1M（10% pH）
探测器	法拉第杯	二次电子倍增器	法拉第杯	二次电子倍增器
敏感性	2.5× ^10⁻⁶A/Pa @1.0mA	4 安培	2.0× ^10⁻⁶ A/Pa @1.0mA	4 安培
*小可检测分压	10 ^-9 Pa 水平	10-13 ^Pa水平	10 ^-9 Pa 水平	10-13 ^Pa水平
*大规定压力	1× ^10⁻²帕
灯丝	lr / _Y2O3₂件
电离电压	25 ~ 70 eV（默认值：70 eV）
发射电流	0.1mA/0.5mA/1.0mA（默认值为0.5mA）
德加斯	电子轰击解吸法，330V，5mA
总压力测量功能	是的/ 10 ^-2 ~ 10 ^-5 Pa
一键功能	是的/氦气_/水/氮气_/氧气_/任何气体
一键泄漏检测功能	可以是
电源电压	直流24伏±10% 50瓦
质量（传感器单元/分析管）	2.4公斤/0.81公斤
*高烘焙温度（连接传感器单元时）	250℃
*高烘焙温度（移除传感器单元后）	300℃
工作温度范围	10～40℃
工作湿度范围	15%至80%（无冷凝）
IP保护等级	IP30（传感器单元）
电源连接器	MSTBV2.5/3-STF-5.08
通信接口	以太网规范
外部输入/输出连接器	D-sub 15针/M2.6螺丝（可选）
通信连接器	RJ45
外部输入/输出信号	模拟量输入（0-10V）× 2，外部联锁输入（压力保护）× 1，故障输出× 1（FIL、SEM、RF异常），分压设定点输出× 2（异常、警告），总压设定点输出× 1
软件	Qulee QCS 4.2 版或更高版本（兼容 Windows 8/10/11）
标准配件	电源连接器、网线（3米）、软件（安装光盘）、使用说明书（光盘）
期权（参见 Qulee 期权目录）	LAN 线缆（10、15、20、30、50 米）、交流电源适配器、USB 转 LAN 适配器、交换机（8 端口或 16 端口）、输入/输出连接器、外套加热器、便携箱
合规标准	中央电气