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主营产品：
实验室仪器；测量仪器；环境检测仪器；计量器具；传感器の专门商社池田屋！
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ULVAC爱发科
池田屋ULVAC爱发科 残余气体分析仪
产品型号：BGM2-201
产品简介：
ULVAC全新推出的残余气体分析仪/过程气体监测仪（RGA）在高压（1 Pa或更低）下实现了高精度和高分辨率，同时兼具简易性和易用性。 众多生产线上的设备工程师一致认为，这标志着过程监测仪树立了新的标杆。 该仪器是溅射设备过程管理（提升质量和产量）的理想之选。
详细介绍
模型
BGM2-101
BGM2-201
BGM2-102
BGM2-202
质量分离方法
四极杆质谱仪
质量范围
1 至 100 amu
1 至 200 amu
1 至 100 amu
1 至 200 amu
探测器
法拉第杯
二次电子倍增器
法拉第杯
敏感性
10
-7
安培
4A/Pa
*小可检测分压
10
-8
Pa
10-12
帕
*大工作压力
1x10-2
Pa
总压力测量功能
可以是
一键功能
是的/氦气/
氢气
/氮气
/
氧气
/
任何气体
一键
泄漏检测功能
可以是
电源电压
直流24伏±10% 50瓦
*高烘焙
温度
（连接传感器单元时）
120℃
*高烘焙
温度
（移除传感器单元后）
250℃
工作温度范围
10至40摄氏度
软件
Qulee
QCS 4.2 版或更高版本（兼容 Windows 8/10/11）
合规标准
中央电气