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主营产品：
实验室仪器；测量仪器；环境检测仪器；计量器具；传感器の专门商社池田屋！
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ULVAC爱发科
池田屋ULVAC爱发科 残余气体分析仪
产品型号：CGM2-052
产品简介：
ULVAC全新推出的残余气体分析仪/过程气体监测仪（RGA）在高压（1 Pa或更低）下实现了高精度和高分辨率，同时兼具简易性和易用性。 众多生产线上的设备工程师一致认为，这标志着过程监测仪树立了新的标杆。 该仪器是溅射设备过程管理（提升质量和产量）的理想之选。
详细介绍
模型
CGM2-051
CGM2-101
CGM2-052
CGM2-102
质量分离方式
四重极型质量分析计
质量范围
1～50 amu
1～100 amu
1～50 amu
1～100 amu
探测器
法拉第杯
二次电子倍增器/法拉第杯
敏感性
0.1微安/帕
0.1mA/Pa
*小可检测分压
1×
10⁻⁷
Pa
1×
10⁻¹⁰
Pa
*大工作压力
2帕
2Pa(FC)1x10
-2
Pa(SEM)
线性
1帕
总压力测量功能
可以是
DEGAS 功能
是的/电子冲击释放方式，300V/5mA
一键泄漏检测功能
是的/氦气
/
水/氮气
/
氧气
/
任何气体
电源电压
DC24V±10％ 50W
*高烘焙温度
（连接传感器单元时）
120℃
*高烘焙温度
（移除传感器单元后）
250℃
工作温度范围
10～40℃
界面
以太网
软件
兼容 Qulee QCS 4.2 版或更高版本（Windows 8/10/11）
合规标准