ULVAC爱发科残余气体分析仪 CGM2-051 池田屋实业（深圳）有限公司

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ULVAC爱发科残余气体分析仪

ULVAC爱发科残余气体分析仪

产品型号：CGM2-051

产品简介：

ULVAC全新推出的残余气体分析仪/过程气体监测仪（RGA）在高压（1 Pa或更低）下实现了高精度和高分辨率，同时兼具简易性和易用性。众多生产线上的设备工程师一致认为，这标志着过程监测仪树立了新的标杆。该仪器是溅射设备过程管理（提升质量和产量）的理想之选。

详细介绍

模型	CGM2-051	CGM2-101	CGM2-052	CGM2-102
质量分离方式	四重极型质量分析计
质量范围	1～50 amu	1～100 amu	1～50 amu	1～100 amu
探测器	法拉第杯		二次电子倍增器/法拉第杯
敏感性	0.1微安/帕		0.1mA/Pa
*小可检测分压	1× ^10⁻⁷ Pa		1× ^10⁻¹⁰ Pa
*大工作压力	2帕		2Pa(FC)1x10 ^-2 Pa(SEM)
线性	1帕
总压力测量功能	可以是
DEGAS 功能	是的/电子冲击释放方式，300V/5mA
一键泄漏检测功能	是的/氦气_/水/氮气_/氧气_/任何气体
电源电压	DC24V±10％ 50W
*高烘焙温度（连接传感器单元时）	120℃
*高烘焙温度（移除传感器单元后）	250℃
工作温度范围	10～40℃
界面	以太网
软件	兼容 Qulee QCS 4.2 版或更高版本（Windows 8/10/11）
合规标准