特点

• 适用压力范围：可用于压力范围为 0.01 至 10mbar、需要高抽速的应用场合。
• 运行可靠：在相对较低的压力下工作，不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性制程介质下，可靠性高。
• 无油污染：具有高质量的无油泵送机械装置，采用先进的轴封技术，确保处理舱中不会出现油污染。
• 维护简便：经验证的轴封布置可确保没有油进入泵送定子，无需可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门，将维护要求降到*低。
• 运行平稳：动态平衡的转子和精密研磨齿轮有助于实现泵的平稳运行，噪音小。

性能参数

• 抽气速率：50Hz 时为 505 立方米 / 小时，60Hz 时为 605 立方米 / 小时。
• 有效抽速：搭配 E1M40 或 E2M40 前级泵时，有效抽速为 350 立方米 / 小时；搭配 E1M80 或 E2M80 前级泵时，有效抽速为 400 立方米 / 小时；搭配 E1M175 或 E2M175 前级泵时，有效抽速为 440 立方米 / 小时；搭配 E1M275 或 E2M275 前级泵时，有效抽速为 460 立方米 / 小时。
• 泵的压差：50Hz 时为 0-110mbar，60Hz 时为 0-90mbar。
• 转速：50Hz 时为 0-2900rpm，60Hz 时为 0-3500rpm。
• 电机功率：碳氢化合物版本为 2.2kW，PFPE 版本为 2.2kW，防爆型为 3hp。

应用领域

• 半导体制程：如芯片制造过程中的真空环境营造。
• 真空蒸馏：用于化工、制药等行业的真空蒸馏工艺。
• 真空包装：食品、电子等产品的真空包装过程。
• 钢脱气：钢铁生产过程中去除钢水中的气体。
• 薄膜覆层：如真空镀膜等工艺。
• 真空冶金：在真空环境下进行金属冶炼等操作。
• 制药冷冻干燥：制药行业中**的冷冻干燥工艺。