特点

• 润滑效果好：采用压力供油润滑回路，即便在高气体负荷下仍能保持良好的润滑效果。
• 防反吸功能：关闭泵时，弹簧式油路分配阀具有对油和空气的防反吸功能，可防止泵油和空气逆流。
• 水蒸气处理能力强：气镇控制系统能够协助处理高水蒸气负载，确保泵在有水蒸气的环境中正常运行。
• 运行可靠：传动轴上安装工业滚动轴承，可靠性高，可长期稳定运行。
• 便于维护：配备全高度的油位视镜，易于检查油位和油状况；泵油过滤器易于更换，大机型还配备油过滤器状态指示计。
• 安装方便：中心进气口设计，使机械增压泵的安装操作更加简单。

性能参数

• 抽气速率：50Hz 下，抽气速率为 0.7-275 立方米 / 小时，其中小型泵如 E2M0.7 抽气速率为 0.75 立方米 / 小时，大型泵如 E2M275 抽气速率为 292 立方米 / 小时。
• 极限压力：不带气镇时，极限真空可达 1.0×10⁻³ 毫巴，带气镇时，不同型号的极限压力在 5.0×10⁻³-7.0×10⁻³ 毫巴之间。
• 电机功率：功率范围较广，如 E2M40 在 50Hz 时电机功率为 1.1 千瓦，E2M275 在 50Hz 时电机功率为 7.5 千瓦。
• 噪声等级：噪声水平较低，E2M40 的噪声等级为 65dB (A)，E2M275 的噪声等级为 75dB (A)。

应用领域

• 工业领域：可用于真空冶金工艺、薄膜涂层技术、制冷和空调系统排气、检漏和干燥、变压器、电缆干燥和浸渍、绝缘油处理设备等。
• 制药领域：适用于制药冷冻干燥等工艺。
• 半导体领域：在半导体设备制造中也有应用，可作为高真空应用中的前级泵