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EBARA荏原机械
废气处理设备
产品型号:G-WS 1000
产品简介:
G-WS型是一种湿式废气处理设备,能以低成本安装并运行。此型号不需要燃料, 并且基于荏原针对燃烧型废气设备方面积累的十多年独特副产物对策,实现了较 长的维护周期。通过延长正常运行的时间,保证了运行的稳定,并降低维护成本和 人力成本。此外,维护窗口开设在设备正面,即使在Sub-Fab有限的空间中也可以 进行灵活的布局。
详细介绍
G-WS型是一种湿式废气处理设备,能以低成本安装并运行。此型号不需要燃料, 并且基于荏原针对燃烧型废气设备方面积累的十多年独特副产物对策,实现了较
长的维护周期。通过延长正常运行的时间,保证了运行的稳定,并降低维护成本和 人力成本。此外,维护窗口开设在设备正面,即使在Sub-Fab有限的空间中也可以
进行灵活的布局。
特点
●无需燃料,运行成本低;
●通过多种副产物对策实现较长的维护周期;
●节省维修空间的设计;
●处理对象气体:NH3、DCS、TiCl4、WF6、HF、HCl等可在常温下处理的水溶性气体。