ESA型在LCD溅镀、真空干燥、大型load-lock等需要高速抽气的场景表现出色。具备流量自适应转速调整、通信功能等额外功能

详细介绍

ESA型在LCD溅镀、真空干燥、大型load-lock等需要高速抽气的场景表现出色。具备流量自适应转速调整、通信功能等额外功能

特点

●适用于大型真空腔室的高速抽气场景；

●搭载转速自动控制功能（自适应泵的负荷）；

●可满足有机溶剂要求的可选配件；

●搭载高性能通信功能；

●先进的控制管理方式

ESA型在LCD溅镀、真空干燥、大型load-lock等需要高速抽气的场景表现出 色。具备流量自适应转速调整、通信功能等额外功能