EST型采用螺杆型转子，可应对CVD等工艺副产物的生成，并具备大流量抽气、耐腐蚀性、抽气速率可变、通信功能等额外功

详细介绍

EST型采用螺杆型转子，可应对CVD等工艺副产物的生成，并具备大流量抽气、耐腐蚀性、抽气速率可变、通信功能等额外功

特点

●可满足副产物生成的工艺

（泵内气体可保持高温）；

●抽气速率高、流量大；

●搭载转速自动控制功能

（自适应气体流量大小）；

●可应对腐蚀性气体

（标配耐腐蚀性材料）；

●搭载高性能通信功能；

●先进的控制管理方式

EST型采用螺杆型转子，可应对CVD等工艺副产物的生成，并具备大流量抽气、 耐腐蚀性、抽气速率可变、通信功能等额外功