日本原装 EV-M型干式真空泵 EV-M302N 池田屋实业（深圳）有限公司

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日本原装 EV-M型干式真空泵

产品型号：EV-M302N

产品简介：

EV-M 型可应用于在半导体、液晶和太阳能电池制造工艺中有副产物生成的重制程工艺。同时兼顾了对重制程工艺和节能的需求，实现了停机风险的减少和运行成本的降低。 ●产品系列丰富，可应对多种工艺、抽气速率需求； ●兼顾高负荷与低功耗； ●可应对腐蚀性气体（标配耐腐蚀材料）。

详细介绍

EV-M 型可应用于在半导体、液晶和太阳能电池制造工艺中有副产物生成的重制程工艺。同时兼顾了对重制程工艺和节能的需求，实现了停机风险的减少和

运行成本的降低。

特点
●产品系列丰富，可应对多种工艺、抽气速率需求；

●兼顾高负荷与低功耗；

●可应对腐蚀性气体（标配耐腐蚀材料）。