罗茨型干泵 EV-S50 池田屋实业（深圳）有限公司

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罗茨型干泵

产品型号：EV-S50

产品简介：

EV-S 型为独立安装的罗茨型干泵，有着从轻制程工艺（如：load lock、 SEM）到腐蚀性工艺的广泛应用范围。拥有抽气速率可变、通信功能等丰富附加功能的同时，实现了“ 低能耗、占地小、轻量化 ”。

详细介绍

EV-S 型为独立安装的罗茨型干泵，有着从轻制程工艺（如：load lock、 SEM）到腐蚀性工艺的广泛应用范围。拥有抽气速率可变、通信功能等丰富附

加功能的同时，实现了“ 低能耗、占地小、轻量化 ”。

特点：
在“低能耗、占地小、轻量化”方面达到业内**水平；

●耐腐蚀材料、氮气吹扫功能（可选）；

●在不同频率（50/60Hz）下性能一致；

●通过增强的传感功能减少停机时间。