作为中等负荷工艺专用的干式真空泵，搭载荏原特有的节能技术，采用面向自动化工厂制造的优化模块设计，并进一步实现了小型化和节能化。通过大范围的温度控制，扩大了适用工艺范围。因同一机型能够覆盖多种工艺，能够优化备用设备的库存，减少用于维护和培训的人力时间，并且能够灵活应对未来的工艺扩展。

详细介绍

干式真空泵

EV-X型

Dry Vacuum Pump

作为中等负荷工艺专用的干式真空泵，搭载荏原特有的节能技术，采用面向自动化工厂制造的优化模块设计，并进一步实现了小型化和节能化。

通过大范围的温度控制，扩大了适用工艺范围。因同一机型能够覆盖多种工艺，能够优化备用设备的库存，减少用于维护和培训的人力时间，并且能够灵活应

对未来的工艺扩展。

■特点

以大幅的温度控制实现大范围的工艺覆盖；

●低能耗、占地小；

●可耐受腐蚀性气体（采用标准耐腐蚀材料）；

●适用案例：各种蚀刻以及CVD、灰化、离子注入、外延生长等。