油扩散泵
PFL 系列
爱发科
*1 当冷却水量为20℃时,极限压力基于电离真空计。 *2 这里是根据扩散泵*大流量来选择辅助泵的。 *3 通常情况下,考虑到粗抽时间,使用比这里所示的更大的机械增压泵和油回转真空泵也是合适的。