ULVAC爱发科低温泵再生气体配管单元PR1A ULVAC爱发科低温泵再生气体配管单元PR1A

详细介绍

ULVAC爱发科低温泵再生气体配管单元PR1A
ULVAC爱发科低温泵再生气体配管单元PR1A

低温泵

压缩机单元

C40R

ULVAC CRYOGENICS

用于使低温泵运转。将压缩后的氦气送出冷冻机，冷却从冷冻机回来的高温氦气，使之循环。

*油吸附器更换時間：24,000時間
*冷却水出入口　Rc 3/8

低温泵

再生气体配管单元

ULVAC CRYOGENICS

再生时的干燥氮气净化装置。可以缩短升温时间。