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新品ULVAC爱发科RF电源 / 匹配切换机RFS-1330N

新品ULVAC爱发科RF电源 / 匹配切换机RFS-1330N

产品型号： RFS-1310N

产品简介：

新品ULVAC爱发科RF电源 / 匹配切换机RFS-1330N 新品ULVAC爱发科RF电源 / 匹配切换机RFS-1330N

详细介绍

新品ULVAC爱发科RF电源 / 匹配切换机RFS-1330N
新品ULVAC爱发科RF电源 / 匹配切换机RFS-1330N

RF电源 / 匹配切换机

RFS-N 系列

RFS-1305N

爱发科

RFS-N系列是输出频率13.56MHz、功率0.5kW/1/kW/3kW/5kW的等离子工艺用RF电源。

装载高效率RF放大器实现了小型·轻量化。
另外，RF电源内置自动匹配控制器功能，仅从主机单元就可以对RF电源进行电力控制及匹配系统控制。

特点

高效率
配有高功率转换效率的RF电路以节省能量。
快速自动匹配
快速算法实现快速自动匹配。
RF电源内置自动匹配功能
只有主机才能进行匹配系统控制。
可通过内置控制器手动控制RF电源和匹配器
灵活的控制
外部模拟控制，可实现串联通信控制。
可靠性高
对作为设备制造商所积累的设计经验。

用途

溅射设备
CVD设备
等离子蚀刻设备
RF离子源
中和剂

规格

[发电机]

模型		RFS-1305N	RFS-1310N	RFS-1330N	RFS-1350N
输入规范	输入额定电压	AC200至220V
	输入电压波动范围	交流180～242V
	相位、频率	单相50/60Hz		三相 50/60Hz
	输入连接器	卡口网锁圆形连接器 DCA3102E16-10P-D		卡口式网锁圆形连接器 DCA3102E22-22P-D
	输入容量	1.2kVA以下	1.8kVA以下	5kVA以下	8kVA以下
	输入电流	10A 以下		25A 或更低	30A 以下
	漏电流	5mA以下
输出规格	振荡频率	13.56兆赫
	额定行波功率	500W（50Ω负载）	1000W（50Ω负载）	3000W（50Ω负载）	5000W（50Ω负载）
	*大反射波功率	100 瓦		500 瓦
	输出阻抗	50Ω
	谐波失真率	-35dB 或更低（额定输出，连续模式）
	输出连接器	N 型		HN型	7/16 起
续	控制方法	功率控制模式
	控制精度	额定输出±2％以内（额定功率10～100％）
冷却方式		空气冷却		水冷
		无需冷却水		流量4L/min	流量6L/min
控制保证范围		额定功率10～100％
尺寸（宽 x 深 x 高）		240mm x 495mm x 150mm （除突出部分）		480mm × 500mm × 150mm （除突出部分）
重量		11公斤		23公斤

[配套盒子]

模型		MBX-1305N	MBX-1310N	MBX-1330N	MBX-1350N
射频输入	输入频率	13.56兆赫
	额定功率	30～500瓦	30～1000瓦	30～3000瓦	50～5000瓦
	输入连接器	N 型		HN型	DIN 7/16 型
射频输出	允许输出电压	2.5kVpp 以下 / 2.5kVdc 以下		5.0kVpp 以下 / 2.5kVdc 以下	10kVpp 以下 / 2.5kVdc 以下
	允许输出电流	30A 以下		80A以下	120A 或更低
	负载阻抗	实部： 0.5Ω ≦ R ≦ 10.0Ω （**调节电压、电流的范围）
剩余反射波功率		大输入行波功率0.3％以下或10W以下		大输入行波功率0.3％以下或30W以下	大输入行波功率0.3％以下或50W以下
冷却系统		空气冷却		风冷+水冷（流量2L/min）
尺寸（宽 x 深 x 高）		375mm x 250mm x 120mm（除突出部分）		375mm x 250mm x 170mm （除突出部分）	450mm x 500mm x 248mm （除突出部分）
重量		约8公斤		约10公斤	约21公斤

* 操作环境温度 10 至 40℃ (无凝结)
* 操作环境无阳光直射、高温、灰尘、避免震动、不含腐蚀性气体