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全新ULVAC爱发科皮拉尼A2K-40K直流电源

全新ULVAC爱发科皮拉尼A2K-40K直流电源

产品型号：A2K-20K

产品简介：

全新ULVAC爱发科皮拉尼A2K-40K直流电源全新ULVAC爱发科皮拉尼A2K-40K直流电源

详细介绍

全新ULVAC爱发科皮拉尼A2K-40K直流电源
全新ULVAC爱发科皮拉尼A2K-40K直流电源

异常放电阻止单元

A2K 系列

A2KH-25

爱发科

A2K系列是在反应性溅射工艺中，在直流电源输出上脉冲施加正电压，中和靶材上的积蓄陷阱来防止异常放电的附加单元。
能在原来的电源上简单的追加，随后实现产量和良率提高。

特点

通过减少异常排水
来提高产量可以输入更高的功率
主板损坏
能够减少电弧引起的主板损坏
控制主轴的问题
与RF溅射相比，可以降低主轴温度
简单的连接性
可以连接到现有设备
可变的反向脉冲频率
A2KH-25：1kHz ～ 20kHz、A2K-20K/40K：1kHz ～ 50kHz范围内可使用
脉冲同步系统
可以输出多个A2K模块的同步脉冲*2*3
主从连接可实现大容量
A2K-20K、40K*多可以6台并联运行

应用：时钟同步系统

a2k数据.jpg

当同一个腔室内阴极反向接近相对时，或者，当多个A2K反向互干扰时。通过使用相位控制功能，可以使A2K的反向脉冲同相并防止反向干扰。*3 *4

*1：可以与弊社DC电源连接
*2：使用A2KH-25，A2K-20K，40K不能执行脉冲同步和显卡操作。
*3：A2KH-25需要外部同步单元（PHSM / PHSS）
*4：A2K- 20K / 40K需要光同步电缆（脉冲链接电缆）

目的

FPD用反应溅射设备
工业涂层用反应溅射设备
彩色TFT用反应溅射设备

规格

模型		A2KH-25	A2K-20K	A2K-40K
控制电源输入	输入	AC90至110V	AC100至240V
	频率	单相50/60Hz
	力量	100 伏安	400 伏安
	漏电流	1mA以下
输入规范	工作电压	-100 至 -800V
	工作电流	0 至 25A	0 至 50A	0 至 100A
	输入结构	连接器连接	连接器连接
输出规格	脉冲范围	5μs/10μs（内部开关切换）	1至18μs（有频率限制）
	振荡频率	・脉冲范围5μs： 2,5,10,15,20kHz ・脉冲范围10μs： 1,2.5,5,7.5,10kHz	1 至 50KHz 以 1KHz 为增量可变
	反转脉冲电压	直流发电机输出电压的10％～20％。（取决于负载阻抗）
耐电压	连续运行	-1500伏直流
并联运行		没有什么	多可控制6台5
冷却方式		强制风冷
尺寸（宽×深×高)		尺寸:238×450×149毫米	483×630×177毫米
重量		16公斤	30公斤	45公斤
适用标准		有害物质限制

使用环境温度 5℃～40℃ (无结露)
使用环境：避免阳光直射、高温、灰尘、振动，无腐蚀性气体。
*5： A2K-20K 与 A2K-40K 不能一起使用。