全新ULVAC爱发科大容量DC电源 DC-10-D 全新ULVAC爱发科大容量DC电源 DC-10-D

详细介绍

全新ULVAC爱发科大容量DC电源 DC-10-D
全新ULVAC爱发科大容量DC电源 DC-10-D

大容量DC电源

DC-10-DH

爱发科

DC-10-D和DC-20-D是用于溅射的直流电源，输出功率为10kW和20kW。它由可靠的部件和电路组成，是一种非常可靠的电源，*适合于等离子体负载，反映了爱发科多年来在电源设计中积累的技术诀窍。

模型		DC-10-D	DC-10-DH	DC-20-D	DC-20-DH
输入	输入电压	交流208V
	变异范围	交流187V~229V
	相数/ 频率	三相50/60Hz
	输入连接	连接器
	输入容量	13.5kVA以下		25kVA以下
输出	额定功率	10千瓦		20千瓦
	额定电流	25A	18A	50A	40A
	额定电压	800伏	1000伏	800伏	1000伏
	电弧控制	如果检测到ARC，逆变器将停止，LARC将负载侧分离
	输出连接	连接器
控制	输出控制系统	恒功率控制/恒电流控制/恒电压控制（V控制）
	控制精度*1	额定功率的 1 至 10% ：设定值的 ±5% 或更小额定功率的 10 至 100% ：额定输出的 ±0.5% 或更小或设定值的 ±1% 中的较大者
	保证控制范围*2	恒功率控制：额定功率值的10～100％(可选：1-100％)
	并联运行*3	*多 12 个单位
	控制方式系统	本地控制/用户控制/串行通信控制 (RS232C 或 RS485)/EtherCAT *4
呼唤		空气冷却
方面		483毫米（宽）×630毫米（深）×133毫米（高）
大量的		29公斤		36公斤
标准		RoHS、CE、SEMI F47

工作温度 5-40°C
使用环境：室内在海拔1000米以下，无阳光直射和腐蚀性气体。
*1：选项：保证额定值1-10%范围内的精度。
*2：有输出电压下限和输出电流下限。也可以通过选项保证1%以上。
*3：800V规格和1000V规格无法组合。
*4：EtherCAT可选。

销售四个升级包，以满足客户的需求。具有其他品牌DC电源所不具备的独特且高性能的功能，能够解决客户亟待解决的工艺问题，提高薄膜性能。

直流电源中的RAMP功能通常用于放电后的输出控制。而我们专注于放电前的输出控制。放电后进行输出控制，可能无法立即获得稳定的放电状态。此新功能通过放电前的输出控制（点火操作），可以抑制放电开始时瞬时增加的功率，从而稳定放电