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新品ULVAC爱发科CRYO-U12HSP高真空的低温泵

新品ULVAC爱发科CRYO-U12HSP高真空的低温泵

产品型号：CRYO U12H

产品简介：

新品ULVAC爱发科CRYO-U12HSP高真空的低温泵新品ULVAC爱发科CRYO-U12HSP高真空的低温泵

详细介绍

新品ULVAC爱发科CRYO-U12HSP高真空的低温泵
新品ULVAC爱发科CRYO-U12HSP高真空的低温泵

低温泵

CRYO-U 系列

CRYO-U12HSP

ULVAC CRYOGENICS

CRYO-U系列，是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵系列。根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同，从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。

特点

氩气的排气速度约为标准型号（U12H）的2倍。
氢气的排气速度约为标准型号（U12H）的1.5倍。
再生的间隔时间更长，有助于增加设备的工作时间。

标准规格

排气速度(20℃)	氮	L/s	4,100
	氢		6,000
	氩		3,400
	水		9,500
极限压力	Pa(Torr)		10^-7(10^-9)
*大流量	氩	Pa・L/s(Torr・L/s)	2.0×10³(15.0)
	氢		4.1×10²(3.1)
排气容量	氩	Pa・L(Torr・L)	4.4×10⁸(3.3×10⁶)
	氢		1.6×10⁶(1.2×10⁴)
冷却下降时间(动力循环)	min(Hz)		90/80(50/60)
吸气口法兰			UVG-300,10^BANSI
压缩机组			C30VRT
重量		Kg	42

*维护周期：16,000小时