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进口ULVAC爱发科PST-400CXII溅射离子泵

进口ULVAC爱发科PST-400CXII溅射离子泵

产品型号：PST-200AXII

产品简介：

进口ULVAC爱发科PST-400CXII溅射离子泵进口ULVAC爱发科PST-400CXII溅射离子泵

详细介绍

进口ULVAC爱发科PST-400CXII溅射离子泵
进口ULVAC爱发科PST-400CXII溅射离子泵

溅射离子泵

PST 系列

PST

ULVAC

溅射离子泵是一种用于产生超高真空的泵，广泛应用于分析仪和加速器中。
ULVAC通过开发强化极、超高真空领域排气特性的新型元件和优化磁场的技术，开发出了泵。

特点

应用于极・超真空，已通过ISO标准，极限压力10^-9 Pa测试。
稀有气体排气增强型（AU型）的排气性能是氩气的两倍。（与本公司相比）
在超高真空范围内实现高抽速。
在短时间内可以达到超高真空。
在超高真空范围内具有出色的启动特性。（超高真空范围内持续放电）

用途

加速器
电子显微镜
电子束曝光装置
讨厌振动的分析装置
极・超高真空环境下的使用等

规格

型号		PST-030CU	PST-030AU	PST-050CU	PST-050AU	PST-100CX	PST-100AX
主要对象气体		活性气体	希有气体	活性气体	希有气体	活性气体	希有气体
排气速度* (再生排气速度)		0.03m³/s(N₂测定时)	0.013m³/s(Ar 测定时)	0.045m³/s(N₂测定时)	0.016m³/s(Ar 测定时)	0.10m³/s(N₂ 测定时)	0.05m³/s (Ar 测定时)
到达压力		10^-9Pa
动作压力	推荐值	<8.0×10^-3Pa				<5.0 x 10^-3Pa
内容积		0.67 X 10^-3m³		1.3x10^-3m³		3.3x10^-3m³
泵元件数量		CU型单元×1 式	AU sell×1式	CU sell×1	AU sell×1	CX sell×1	AX sell×1
连接法兰规格		UFC070		UFC114		UFC152
施加电压		DC+7.5kV
加热器		无设定		AC200V, 300W		AC200V, 320W
烘烤温度		250℃
质量		9.5 kg		12kg		37kg
外形尺寸	W x H x D	103×183×187 mm		153×204×241mm		155×336×340mm
使用环境	温度范围	5~40℃
	湿度范围	85%以下(无结露)
固定泵的螺栓孔尺寸		4处-M5 深10mm				4处-M8 深6mm
推荐的控制器		GST-07L-B

*1 GST-07L-B型控制器使用时

型号		PST-110AU	PST-200CXII	PST-200AXII	PST-400CXII	PST-400AXII
主要对象气体		活性气体	活性气体	希有气体	活性气体	希有气体
排气速度* (再生排气速度)		0.11m³/s(N₂ 测定时)	0.2m³/s(N₂ 测定时)	0.02m³/s (Ar 测定时)	0.36m³/s(N₂ 测定时)	0.19m³/s (Ar 测定时)
到达压力		10-9Pa	10^-10Pa
动作压力	推荐值	<4.5x10^-3Pa	<3.8x10^-3Pa		<3.0x10^-3Pa
内容积		6.5x10^-3m³	11x10^-3m³		14x10^-3m³
泵元件数量		AU sellx1	CX sell×2	AX sell×2	CX sell×4	AX sell×4
连接法兰规格		UFC152	UFC203
施加电压		DC+7.5kV
加热器		无设定	AC200V, 600W		AC200V, 800W
烘烤温度		250℃
质量		36.5kg	65kg		124kg
外形尺寸	W x H x D	171×387×293mm	296×361×376mm		296×544×376mm
使用环境	温度范围	5~40℃
	湿度范围	85%以下(无结露)
固定泵的螺栓孔尺寸		4处-M6 深5mm	4处-M8 深15mm		6处-M8 深度15mm
推荐的控制器		GST-07L-B

*1 GST-07L-B型控制器使用时