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进口ULVAC爱发科UTM1500A-MS涡轮分子泵

进口ULVAC爱发科UTM1500A-MS涡轮分子泵

产品型号：UTM2400A-MS

产品简介：

进口ULVAC爱发科UTM1500A-MS涡轮分子泵进口ULVAC爱发科UTM1500A-MS涡轮分子泵

详细介绍

进口ULVAC爱发科UTM1500A-MS涡轮分子泵
进口ULVAC爱发科UTM1500A-MS涡轮分子泵

涡轮分子泵

UTMｰMS 系列

测雨仪

爱发科

新产品

涡轮分子泵，带有使用磁悬浮轴承的独立控制器。我们有抽速为300~4000 L/s 的型号阵容。控制器单元可以监控运行状态并支持各种通信标准。

特点

泵体和控制器分开。控制器可以监控运行状态并支持各种通信标准。
自由的安装方向。自由的安装方向使系统装置的设计更灵活。
排气速度300L/s～4000L/s的型号阵容。
分子泵转速在25-100%范围内可变。通过改变转速在腔室中实现压力调节。
高耐用性和**性。通过了大气冲击试验、急停测试等各种**性确认试验。

用途

各种设备的主真空排气系统
- 半导体制造设备
- 蒸镀设备
- 溅射设备
- 研究开发设备
- 分析设备、实验装置等
主真空泵系统，用于不产生副反应生成物的轻工艺产线的真空系统。
其他的高真空排气系统。

规格

表 1

模型			UTM300A-MS		UTM400A-MS		UTM800A-MS		UTM1000A-MS
进气口			VG100 / ICF152		VG150 / ICF203				VG200 / ICF253
出水口			KF25				KF40
冷却方式			水冷	空气冷却	水冷	空气冷却	水冷	空气冷却	水冷	空气冷却
极限压力*1		出色地	10 ^-7				10 ^-8
抽气速度*2	氮气	升/秒	320		420		800		1080
	和	升/秒	ー
	他	升/秒	340		360		800		930
	氢气	升/秒	320		340		700		790
压缩率	氮气		1×10 ⁹
	他		8× ¹⁰⁴
	氢气		1× ¹⁰⁴				4×10 ³
大入口压力3		出色地	200	1.3	200	1.3	400	1.3	400	1.3
大出口压力3		出色地	400	40	400	40	665	40	665	40
转速		转速	45000				35000
启动时间			5分钟或更短
安装位置			朝任意方向
表面处理			镀镍
冷却水	流速	升/分钟	1～3	ー	1～3	ー	1～3	ー	1～3	ー
	压力	兆帕G	02～0.5	ー	02～0.5	ー	02～0.5	ー	02～0.5	ー
噪音		分贝(声级)	60
重量		公斤	14				33		三十二
推荐前级泵			200L/略多				500L/略多
控制器	作品		分离型
	输入电功率		单相AC200〜240V±10％（50/60Hz±2Hz）
	*大功率		0.55				1.0
	速度变化		转速在额定转速的25%~100%之间可调（设定为0.1%）
	沟通		接触
			串口：RS-232C / RS-485
	重量	公斤	8

*1：表示位数。
*2：无防护网。
*3：*大入口压力和*大出口压力不能同时满足。

表 2

模型			UTM1300A-MS	UTM1500A-MS	UTM2400A-MS	UTM3400A-MS	UTM4300A-MS
进气口			VG200 / ICF253	VG250		VG300 / VG350	VG350
出水口			KF40
冷却方式			水冷
极限压力*1		出色地	10 ^-7
抽气速度*2	氮气	升/秒	1300	1500	2100	3200	4400
	和	升/秒	ー		2000	3100	4200
	他	升/秒	1050	1200	2240	3100	ー
	氢气	升/秒	750	800	1770	2200	2600
压缩率	氮气		6×10 ⁸		1×10 ⁹
	他		1× ¹⁰⁴		7×10 ⁴	1×10 ⁵	3× ¹⁰⁴
	氢气		1× ¹⁰³		3×10 ³	6×10 ³	2× ¹⁰³
大入口压力3		出色地	133		40
大出口压力3		出色地	270		270
转速		转速	30300		27000	27600	24000
启动时间			7分钟或更短		11分钟或更短	12分钟或更短	18分钟或更短
安装位置			朝任意方向
表面处理			镀镍
冷却水	流速	升/分钟	1～3		2～4
	压力	兆帕G	02～0.5
噪音		分贝(声级)	60		57	60
重量		公斤	三十九	四十二	70	84	105
推荐前级泵			600L/略多		1300L/略多	1500L/略多
控制器	作品		分离型
	输入电功率		单相AC200〜240V±10％（50/60Hz±2Hz）
	*大功率		1.0		1.5
	速度变化		转速在额定转速的25%~100%之间可调（设定为0.1%）
	沟通		接触
			串口：RS-232C / RS-485
	重量	公斤	8

*1：表示位数。
*2：无防护网。
*3：*大入口压力和*大出口压力不能同时满足。