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全新ULVAC爱发科新型工艺气体分析仪

全新ULVAC爱发科新型工艺气体分析仪

产品型号：CGM2-051

产品简介：

全新ULVAC爱发科新型工艺气体分析仪全新ULVAC爱发科新型工艺气体分析仪

详细介绍

全新ULVAC爱发科新型工艺气体分析仪
全新ULVAC爱发科新型工艺气体分析仪

溅射工艺

Qulee CGM2 系列

CGM2-051 / 052

爱发科

新型工艺气体分析仪(RGA)，实现了高压下(1Pa以下)的高精度、高分辨率以及性的简单易操作性。来自不同生产线的设备工程师的反馈被纳入产品的设计中，*适合溅射设备的工艺管理（提高品质、提高良率）。

特点

适用于各种溅射系统的工艺监控
Air Leak监控
残留水分管理
无需差动排气系统（less than 1 Pa at 7.5 x 10^-3Torr/1 x 10^-2 mbar）
内置显示屏：无需PC可单独操作使用
可进行高灵敏度泄漏测试（CGM2-052）
可进行全压测定
操作简单-One Click功能
标配Qulee QCS软件
支持CE标准

用途

适用于溅射设备的残余气体分析、工艺监控和杂质管理(H₂O)。
用于溅射设备的泄漏测试。

规格

分解能

M/△M=1M(10%PH)

型号	CGM-051	CGM2-101	CGM-052	CGM2-102
质量分离方式	四极型质量分析仪
质量数范围	1～50原子量单位	1～100亩	1～50原子量单位	1～100亩
检出器	法拉第杯		二级电子倍增管／法拉第杯
灵敏度	0.1微安/帕		0.1毫安/帕
*小分压	1×10 ^-7帕斯卡		1×10 ^-10帕斯卡
*大工作压力	2帕斯卡		2帕斯卡(FC)1×10 ^-2帕斯卡(SEM)
线性	1帕
全压力测量功能	有
脱气功能	电子轰击型300V、5mA
一键检漏功能	有 / He / H₂O / N₂/ O₂/ Any gas
电源电压	DC24V±10％ 50W
*大烘烤可能温度 (传感器单元连接时)	120℃
*大烘烤可能温度 (传感器单元移除时)	250℃
使用温度范围	10～40℃
接口	以太网
软件	Qulee QCS Ver.4.2以降（Windows 8/10/11）适用
符合标准	这