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主营产品:
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ULVAC爱发科
原厂ULVAC爱发科新型工艺气体分析仪
产品型号:CGM2-101
产品简介:
原厂ULVAC爱发科新型工艺气体分析仪 原厂ULVAC爱发科新型工艺气体分析仪
详细介绍
原厂ULVAC爱发科新型工艺气体分析仪
原厂ULVAC爱发科新型工艺气体分析仪
溅射工艺
Qulee CGM2 系列
CGM2-101 / 102
ULVAC
特点・规格
新型工艺气体分析仪(RGA),实现了高压下(1Pa以下)的高精度、高分辨率以及 性的简单易操作性。来自不同生产线的设备工程师的反馈被纳入产品的设计中,*适合溅射设备的工艺管理(提高品质、提高良率)。
特点
适用于各种溅射系统的工艺监控
Air Leak监控
残留水分管理
清洗液残留物
Galden® 和其他制冷剂泄漏
残余碳氢化合物监测
无需差动排气系统(less than 1 Pa at 7.5 x 10
-3
Torr/1 x 10
-2
mbar)
内置显示屏:无需PC可单独操作使用
可进行高灵敏度泄漏测试(CGM2-102)
可进行全压测定
操作简单-One Click功能
标配Qulee QCS软件
支持CE标准
用途
适用于溅射设备的残余气体分析、工艺监控和杂质管理(H
2
O)。
用于溅射设备的泄漏测试。
规格
分解能
M/△M=1M(10% P.H.)
型号
CGM-051
CGM2-101
CGM-052
CGM2-102
质量分离方式
四极型质量分析仪
质量数范围
1~50 amu
1~100 amu
1~50 amu
1~100 amu
检出器
法拉第杯
二级电子倍增管/法拉第杯
感度
0.1uA/Pa
0.1mA/Pa
*小检知分圧
1x10
-7
Pa
1x10
-10
Pa
*大使用圧力
2Pa
2Pa(FC)1x10
-2
Pa(SEM)
线性
1Pa
全压力测量功能
有
Degas function
Electron bombard type 300V, 5mA
一键检漏功能
有 / He / H
2
O / N
2
/ O
2
/ Any gas
电源电压
DC24V±10% 50W
*大烘烤可能温度
(传感器单元连接时)
120℃
*大烘烤可能温度
(传感器单元移除时)
250℃
使用温度范围
10~40℃
接口
Ethernet
软件
Qulee QCS Ver.4.2以降(Windows 8/10/11)
适用
符合标准
CE