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全新ULVAC爱发科高真空的低温泵系列

全新ULVAC爱发科高真空的低温泵系列

产品型号：CRYO-U30H

产品简介：

全新ULVAC爱发科高真空的低温泵系列全新ULVAC爱发科高真空的低温泵系列

详细介绍

全新ULVAC爱发科高真空的低温泵系列
全新ULVAC爱发科高真空的低温泵系列

低温泵

CRYO-U 系列

CRYO-U30H

ULVAC CRYOGENICS

CRYO-U系列，是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵系列。根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同，从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。

特点

特别适用于大型成膜设备，真空腔室等。
水的排气速度*高。

标准规格

排气速度(20℃)	氮	L/s	28,000
	氢		43,000
	氩		23,000
	水		70,000
极限压力	Pa(Torr)		10^-7(10^-9)
*大流量	氩	Pa・L/s(Torr・L/s)	2.7×10³(20)
	氢		7.4×10²(5.6)
排气容量	氩	Pa・L(Torr・L)	7.8×10⁸(5.9×10⁶)
	氢		1.5×10⁷(1.1×10⁵)
冷却下降时间(动力循环)	min(Hz)		240/200(50/60)
吸气口法兰			VG-750
压缩机组			C30VRT×2
重量		Kg	175.0

*维护周期：16,000小时