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主营产品:
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ULVAC爱发科
池田屋ULVAC爱发科高真空的低温泵
产品型号:CRYO-U6H
产品简介:
池田屋ULVAC爱发科高真空的低温泵 池田屋ULVAC爱发科高真空的低温泵
详细介绍
池田屋ULVAC爱发科高真空的低温泵
池田屋ULVAC爱发科高真空的低温泵
低温泵
CRYO-U 系列
CRYO-U6H
爱发科低温技术公司
特点・规格
可选部件・消耗品
CRYO-U系列,是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵系列。 根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同,从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。
特点
轻量・紧凑、标准尺寸*小的泵
适用于实验室和研究室的小型真空设备。
可以多台运行(*多3台)
可以达到超高真空(10
-8
Pa以下)
标准规格
排气速度(20℃)
氮
升/秒
750
氢
1,100
氩
620
水
2,100
极限压力
再见(托尔)
10
-7
(10
-9
)
*大流量
氩
帕・升/秒(托・升/秒)
1.1×10
3
(7.9)
氢
1.1×10
2
(0.8)
排气容量
氩
帕·L(托·L)
5.6×10
7
(4.2×10
5
)
氢
3.1×10
5
(2.3×10
3
)
冷却下降时间
(动力循环)
*小值(Hz)
80/70(50/60)
吸气口法兰
UVG-150,UFC-203
压缩机组
C10T、C10AT
重量
公斤
19
*
维护周期:16,000小时